Activité : Plasmas basse pression et surfaces

Responsable(s) :
Pascal BRAULT

Fonction : Directeur de recherche

Email : pascal.brault@univ-orleans.fr

Téléphone : 02 38 41 71 25

Fax : 02 38 41 71 54

Savoir-Faire :
Mise en œuvre et utilisation des réacteurs plasma basse pression RF, HF, Hélicon, Magnétron
Diagnostic des plasmas basse pression
Gravure plasma, dépôts et couches minces
Mise en œuvre et utilisation des plasmas poudreux

Axe de recherche :
Gravure profonde et rapide par plasmas réactifs
Plasma poudreux
Couches minces composites
Nanomatériaux
Cristaux coulombiens
Traitement des poudres et dépôts métalliques du nanomètre au millimétre
Croissance des couches minces et membranes à propriétés physiques spécifiques
Film d’alliages métalliques amorphes

Application industrielles :
Barrières isolantes via microélectronique
Nanofabrication – MEMS - MOEMS
Catalyseurs
Membranes pour piles à combustible, piles à combustible par procédés tout-plasma
Traitement des poudres
Couches minces de silicium polymorphe pour cellules photovoltaïques

Retour