Activité : Dépôts chimiques à partir de la phase gazeuse

Responsable(s) :
Lionel VANDELBULCKE

Fonction : Directeur de recherche

Email : vanden@cnrs-orleans.fr

Téléphone : 02 38 25 54 87

Fax : 02 38 69 60 04

Savoir-Faire :
Etude des relations entre les procédés d'élaboration des matériaux en couches minces et leurs propriétés physico-chimiques

Axe de recherche :
Dépôts chimiques par CVD et ICVI en réacteur ouvert
Traitements thermochimiques
Dépôts chimiques assistés par plasma

Application industrielles :
Maîtrise du procédé d'élaboration de revêtements en couches minces pour contrôler les caractéristiques microstructurales , physiques et chimiques et leurs propriétés finales
Couches DLC, diamant poly et monocristallin pour applications mécaniques, biomédicales, en émission électronique SAW
Dépôt de pyrocarbone pour composites C/C, de BN, Si-B-N, SiC, B4C, Si-B-C pour CMCs en atmosphère oxydante

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